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　　零部件包括轴承◈★、传感器◈★、石英◈★、边缘环◈★、反应腔喷淋头◈★、泵◈★、陶瓷件日本夜间精油按摩4◈★、射频发生器◈★、机械臂等◈★，核心子系统包括气液流量控制系统◈★、真空系统k8凯发官方网站◈★、制程诊断系统◈★、光学系统◈★、电源及气体反应◈★、热管理系统◈★、晶圆传送系统◈★、集成系统◈★；各类半导体设备◈★，主要包括光刻机◈★、刻蚀设备◈★、薄膜沉积设备◈★、真空镀膜设备◈★、清洗设备◈★、离子注入设备◈★、涂胶显影设备◈★、CMP设备◈★、热处理设备等◈★。

　　上市企业多分布于经济发达地区或是辽宁省这样的工业大省◈★。部分地区存在产业聚集现象◈★，上游零部件及系统供应企业◈★，中游半导体设备制造企业齐全◈★，例如江苏省和辽宁省日本夜间精油按摩4◈★。

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　　中国半导体设备行业上市企业多数专注于这一行业k8凯发官方网站◈★。企业间具体业务有所不同◈★，这与行业的进入壁垒有关◈★。企业的重点布局区域大多位于境内k8凯发官方网站◈★，部分企业同时重点布局境内外◈★，这一现象是行业的竞争格局◈★、技术水平等多种因素造成的日本夜间精油按摩4◈★。

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